台阶仪的产品特点
台阶仪产品特点分两种,测量台阶的方法分为接触式和非接触式。若对测量台阶的精度和速率无较高的要求、不介意测量过程中划伤产品表面、且材质不是软质材质和尖锐产品,可选用接触式的台阶仪进行台阶的测量。台阶仪通常由一个机械探针和一个测量系统组成。机械探针可以是一个尖锐的针尖或球形探头,它会与被测表面接触并沿表面运动。当机械探针接触到被测表面时,测量系统会记录下机械探针的运动轨迹和力的变化。通过测量探针在表面上的运动和受到的力的变化,可以计算出表面的形貌参数。测量原理中的关键是探针与被测表面的接触和运动,因此需要保证探针的稳定性和精确性。此外,还需要考虑表面的硬度、光滑度等因素对测量结果的影响。但接触式台阶仪在测量过程中容易发生撞针现象,仪器寿命较短。若对测量精度、测量速率有要求,或者测量产品是软质材料或者尖锐产品等接触式台阶仪难以测量的,或者希望采用不损伤产品的非接触形式测量的,可以选用以压电陶瓷驱动的白光干涉仪进行台阶测量。压电陶瓷驱动的白光干涉仪测量台阶是采用光学的原理,可以实现无损检测,不会刮伤产品表面。测量精度可以达到亚纳米级别;可以实现多线测量,快速选取比探针式更多的截面,保证测量稳定性;软质和尖锐产品等接触式台阶仪无法测量的产品,白光干涉仪也可以测量;软件功能丰富,自动测量最高最低点、平均值、统计分析等;可以测高透明产品,低至0.02%反射率的表面也可以轻松采集点云成像;在倍率精度相同的情况下,白光干涉仪可以获取更大的视野,以面的形式扫描,一般在数秒钟内即可完成测量,AM-7000系列可以达到400μm/s的扫描速度。综上,可以根据自己的需求选择不同产品特点的台阶测量仪器。
台阶仪的测量原理
其测量原理是:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。