ICP-MS（Inductively coupled plasma mass spectrometry），全称电感耦合等离子体质谱。是以电感耦合等离子体作为离子源
ICP-MS基本原理
样品进行ICP-MS分析时一般经过以下四步：
(1)分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区
(2)等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离
(3)部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，正离子被拉出并按其质荷比分离
(4)检测器将离子转化为电子脉冲，然后由积分测量线路计数
电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关，通过与已知的标准或参比物质比较，实现未知样品的痕量元素定量分析。
